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特種氣體中單元高純氣體的品種及用途

特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體，另一類為混合氣體。對于單元高純氣體，根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻，特種氣體廠家，匯總起來共有227種，可分成五個類別: 一、電子氣體，共85種(序號1～85)，占總數(shù)的36.3％; 二、有機氣體，共61種(序號86～146)，占總數(shù)的27.8％; 三、無機氣體，共35種(序號147～181)，占總數(shù)的15.5％;

深度提純難度大，而純度是電子氣體質(zhì)量重要的指標。在芯片加工過程中，微小的氣體純凈度差異將導(dǎo)致整個產(chǎn)品性能的降低甚至報廢。電子氣體純度往往要求5N-6N級別，還要將金屬元素凈化到10-9級至10-12級。氣體純度每提高一個層次對純化技術(shù)就提出了更高的要求，技術(shù)難度也將顯著上升。以硅1烷為例，將其純度由4N提純到6N中間有漫長的道路。對于混合氣體而言，特種氣體供應(yīng)商，混合配比的精度也是下游生產(chǎn)廠商關(guān)心的指標。氣體純化技術(shù)主要有吸附法、精餾法、膜分離法等。

電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體

隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展，國外對高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個階段。我國在高純氣體分析方面，淄博特種氣體，也已進入在線分析階段，且分析檢測的靈敏度高，可以實現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測試 。然而，由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進行金屬成分的測量，一般需要把氣體樣品先進行液體化，即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中，特種氣體價格，以該溶液為樣品，才能選定合適的檢測手段進行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級，因此，對測定時使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測方法以及分析測試儀器(靈敏度和檢測限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測方法。

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